- Код статьи
- S30345111S2686953525030079-1
- DOI
- 10.7868/S3034511125030079
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 522 / Номер выпуска 1
- Страницы
- 51-56
- Аннотация
- Предложен вариант метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Для очистки поверхности исследуемого образца регистрацию спектра ведут при непрерывной продувке рабочей камеры спектрометра с установленным в нем образцом особо чистым инертным газом при 10–10 Па. Показано, что предложенный подход позволяет получить репрезентативные спектры поверхности образцов, свободной от адсорбированных частиц, загрязнений и примесей, без использования техники сверхвысокого вакуума и без разрушения поверхности образца; обеспечивает сравнительно быструю подготовку прибора к работе, а также возможность исследования образцов, разрушающихся в условиях сверхвысокого вакуума (кристаллогидраты, органические соединения) и при воздействии грубых методов очистки поверхности, таких как механическая чистка, значительный нагрев или ионное травление.
- Ключевые слова
- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия инертные газы особой чистоты анализ состава поверхности очистка поверхности высокий вакуум
- Дата публикации
- 01.06.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 29
Библиография
- 1. Зигбан К., Нордлинг К., Фальман А. и др. Электронная спектроскопия. М.: Мир, 1971. 493 с.
- 2. Анализ поверхности методами Ожеи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Бриггс Д., Сих М.П. (ред.). М.: Мир, 1987. 600 с.
- 3. Широбоков С.В., Русских Е.В., Исупов Н.Ю. Способ экспресс-анализа твердотельных образцов на фотоэлектронных спектрометрах. Патент РФ 2295170. 2007.
- 4. Trapeznikov V.A., Shabanova I.N., Kholzakov A.V., Ponomaryov A.G. // J. Elec. Spec. Rel. Phenom. 2004. V. 137–140. P. 383–385. https://doi.org/10.1016/j.elspec.2004.02.115
- 5. Shirley D.A. // Phys. Rev. 1972. V. 5. P. 4709–4714. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.5.4709
- 6. Wojdyr M. // J. Appl. Cryst. 2010. V. 43. P. 1126–1128. https://doi.org/10.1107/S0021889810030499
- 7. Moulder J.F., Stickle W.F., Sobol P.E., Bomben K.D. Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy. Chastain J. (ed.). Eden Prairie: Perkin-Elmer Corporation, 1992. 261 p.
- 8. Grosvenor A.P., Kobe B.A., Biesinger M.C., McIntyre N.S. // Surf. Interf. Anal. 2004. V. 36. P. 1564–1574. https://doi.org/10.1002/sia.1984
- 9. Biesinger M.C. // Surf. Interf. Anal. 2017. V. 49. P. 1325–1334. https://doi.org/10.1002/sia.6239
